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广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦分子泵Turbo-V302供应商
振动分析 在制造过程中以及泵运输前的测试中,对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平:0.4 m/s2。噪音测试 通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试,来验证泵噪音:垂直、水平和翻转位置;高温和低温;全速和低速。在正常运行状态下,168 次测量得到的平均噪音为 41 dB(A)+/-3σ。包装测试 通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能,在测试时,使带包装的泵从 96 厘米/37.8 英寸的高度以各种角度跌落 18 次。装有 TwisTorr 305 的包装箱可承受 30 g 的加速度,以确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。
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分子泵控制器 “3D” 控制软件
早期的分子泵控制器又叫分子泵电源,其的功能是向分子泵供电;后来,改进型的控制器具备了一定的保护功能,可以监控分子泵的功率和温度,相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线,分子泵只能在这条线以下工作(2D),若超过这条线控制器就会报警停机。
与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器,变被动保护为主动调整,可以根据不同的工艺条件,自动调整输出功率和转速,使泵在保证自身安全的同时,始终工作在一个达到优性能的曲面上(3D),达到佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行,可以延长其使用寿命。
与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS,加上之前的 84FS 和 304FS,形成了一个完整的系列。
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安捷伦分子泵标准保养服务安捷伦维修中心提供各型号安捷伦分子泵的标准保养服务,主要项目包括:对整泵进行拆解和清洗、更换密封和轴承套件、动平衡调试和泄漏检测等。安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异,分子泵的工作寿命差别很大,但是如果分子泵已经工作了很长时间(5年以上),或者出现了噪音、温度、功率异常,及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。
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油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。脂润滑分子泵:油脂量小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境
干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、食品等范围广泛的行业,市场上超过50%的产品是进口品牌,尤其在半导体行业中,绝大多数的真空泵均为国外品牌,国产真空泵主要应用于化工等行业。
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安捷伦发布了全新一代高真空涡轮分子泵 TwisTorr 704FS。作为一款加持了诸多“黑科技”的全新产品,TwisTorr 704 FS 高真空涡轮分子泵在具有高可靠性的同时,还能做到更经济。
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安捷伦真空近年来陆续发布了多个型号的 TwisTorr 分子泵,该系列把分子泵的典型工作范围从高真空扩展到了超高真空(参考文章:安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍)。近日,针对一些对压缩比要求不高而气体流量很大的应用,安捷伦真空又发布了 TwisTorr 305 Q 系列分子泵。
抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的,也是各项设计调整优化的重要目标。产品定型时,安捷伦对外发布的各项参数和曲线,比如下图的抽速和压缩比曲线,都来自于这些测试的结果。这些测试都有相关的资质,在此不再展开描述。
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安捷伦扩散泵特点维护简单,皮实耐用不爱坏扩散泵内部没有活动部件,与机械式真空泵的磨损失效不同,其工作失效的原因主要有泵油劣化、加热器损坏、喷塔被油垢污染等等。安捷伦扩散泵管状加热器和压紧结构设计,拥有很高传热效率的同时,又保证了泵油和加热器本身都没有过热点,泵油不容易裂解,加热器也不容易损坏;同时,精细的热传导和保温结构设计,也使热损失大大降低。
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为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀,安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月,可以使用软启动功能启动分子泵,转速以阶梯方式缓慢加速,使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月,建议送回维修中心,让分子泵在检测平台上按照既定程序加速(Re-channeling),磨合轴承。
CombiNEG系列采用安捷伦科技StarCell离子泵抽气单元和赛斯(Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂