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广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦分子泵TwisTorr 704FS
目前,国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快,技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使压缩热得平衡,所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求,这种泵可以串联使用,一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵,所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。目前,这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用。
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体安装注意事项
①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。
②、打开泵高真空端法兰盖板,戴好手套,拨动涡轮转子,应转动灵活,无异常现象。
③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。
④、确认防护网已安装,特殊情况下定做特殊防护网。
⑤、确认已装入润滑油。
⑥、安装方向:油绳润滑:竖直、水平;
油润滑:竖直方向±5°范围内;
脂润滑:任意角度
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安捷伦分子泵标准保养服务安捷伦维修中心提供各型号安捷伦分子泵的标准保养服务,主要项目包括:对整泵进行拆解和清洗、更换密封和轴承套件、动平衡调试和泄漏检测等。安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异,分子泵的工作寿命差别很大,但是如果分子泵已经工作了很长时间(5年以上),或者出现了噪音、温度、功率异常,及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。
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油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。脂润滑分子泵:油脂量小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境
干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、食品等范围广泛的行业,市场上超过50%的产品是进口品牌,尤其在半导体行业中,绝大多数的真空泵均为国外品牌,国产真空泵主要应用于化工等行业。
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采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑,并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比(特别是对小分子气体的高压缩比)可以带来更好的极限真空,而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵,从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。
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安捷伦真空(原瓦里安真空)是离子泵,赛斯是NEG吸气剂泵的始创者,两家公司有累计超过100年的真空经验。此次的吸气剂复合离子泵采用了各自的技术,两家公司充分的信任和紧密的合作促成了这一全新产品的问世,我们期待更多类似的合作,和更多让我们眼前一亮的产品。
安捷伦 AFS 悬浮轴承系统,采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体,避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应,可以吸收各种振动的能量,降低整泵的噪音和振动,保证好的轴