高纯氩气的含义
高纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩气可用作色谱载气,也可用作大规模集成电路中混合气体的稀释气。
在金属冶炼方面,氧、氩吹炼是生产优好钢的重要措施,每炼1t钢的亚气消耗量为1~3立方米。此外,对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼,以及电子工业中也需要用亚作保护气。
高纯氩气充装过程
1.打开泵进气阀、预冷阀和回气阀,对泵进行预冷。当预冷阀出口管余气排出满管液体时,启动泵。逐渐关闭预冷阀,打开泵出口阀(泵有节奏的敲击声,否则应重新预冷)进行充装。
2.充装压力应在5MPa前逐一检查氩气瓶的温升。如果温升过高,瓶子的充装应终止,并妥善处理。对于无温升气瓶,应退出气瓶检查瓶阀,排除故障,然后单独充装。
3.充装压力达到1.5MPa后,严禁插入空瓶。
4.充装时应控制充装速度,每组氩气瓶的充装时间不小于30min。
5.注意观察气化器出口温度不低于0℃。
怎样鉴别氩气的纯度?
1.使用仪器检测:目前市面上有一些专门的气体分析仪器,可以用于测试气体的成分和纯度。这种方法能够提供较为准确的数据,并且可以测试多种气体的组分。
2.观察气体颜色:纯氩气呈无色透明状态,亚气呈现其他颜色,微黄或者灰色,那么说明其中混杂了其它杂质。但这个方法只能作为一个初步的参考标准。
3.通过气味进行判断:氩气是一种惰xing气体,不具备气味。气体中出现异味或者刺激xing气味,说明其中杂质含量较高,纯度相对较低。
4.总之,在鉴别氩气纯度时,很好使用专门的仪器进行测试,以获取更加准确的结果。没有条件使用专门的仪器,也可以通过观察气体颜色和气味等方式进行初步的判断,但需要注意的是,这种方法只是一个简单的参考标准,并不能提供准确数据。